Тэтрафтарыд вугляроду (CF4)

Тэхнічныя параметры

Чатырохфтарысты вуглярод - гэта галагенаваны вуглевадарод з хімічнай формулай CF4. Яго можна разглядаць як галагенаваны вуглевадарод, галагенаваны метан, перфторуглерод або як неарганічнае злучэнне. Чатырохфтарысты вуглярод - газ без колеру і паху, нерастваральны ў вадзе, растваральны ў бензоле і хлараформе. Стабільны пры нармальнай тэмпературы і ціску, пазбягайце моцных акісляльнікаў, лёгкаўзгаральных або гаручых матэрыялаў. Негаручы газ, унутраны ціск кантэйнера будзе павялічвацца пры ўздзеянні высокай тэмпературы, і існуе небяспека парэпання і выбуху. Ён хімічна ўстойлівы і негаручы. Пры пакаёвай тэмпературы можа працаваць толькі вадкі аміячна-натрыевы металічны рэагент. Чатырохфтарыд вугляроду - гэта газ, які выклікае парніковы эфект. Ён вельмі стабільны, можа заставацца ў атмасферы працяглы час і з'яўляецца вельмі магутным парніковым газам. Тэтрафтарыд вугляроду выкарыстоўваецца ў працэсе плазменнага тручэння розных інтэгральных схем. Ён таксама выкарыстоўваецца ў якасці лазернага газу і ў нізкатэмпературных холадагентах, растваральніках, змазачных матэрыялах, ізаляцыйных матэрыялах і астуджальных вадкасцях для інфрачырвоных дэтэктараў. Гэта найбольш часта выкарыстоўваны газ для плазменнага тручэння ў мікраэлектроннай прамысловасці. Гэта сумесь тетрафторметана высокай чысціні газу і тетрафторметан высокай чысціні газу і высокай чысціні кіслароду. Яго можна шырока выкарыстоўваць у крэмніі, дыяксідзе крэмнія, нітрыдзе крэмнія і фасфасілікатным шкле. Пратручванне тонкаплёнкавых матэрыялаў, такіх як вальфрам і вальфрам, таксама шырока выкарыстоўваецца для ачысткі паверхні электронных прылад, вытворчасці сонечных батарэй, лазерных тэхналогій, нізкатэмпературнага астуджэння, праверкі ўцечак і мыйных сродкаў у вытворчасці друкаваных схем. Выкарыстоўваецца ў якасці нізкатэмпературнага холадагенту і тэхналогіі плазменнага сухога тручэння для інтэгральных схем. Меры засцярогі пры захоўванні: Захоўваць у прахалодным, вентыляваным складзе негаручых газаў. Захоўваць далей ад агню і крыніц цяпла. Тэмпература захоўвання не павінна перавышаць 30°C. Яго трэба захоўваць асобна ад лёгкагаручых (гаручых) гаручых рэчываў і акісляльнікаў і пазбягаць сумеснага захоўвання. Зона захоўвання павінна быць абсталявана абсталяваннем для экстранай ачысткі ўцечкі.

Ужыванне:

① Холадагент:

Тэтрафторметан часам выкарыстоўваецца ў якасці нізкатэмпературнага холадагенту.

② Афорт:

Ён выкарыстоўваецца ў мікрафабрыкацыі электронікі асобна або ў спалучэнні з кіслародам у якасці плазменнага травільніка для крэмнія, дыяксіду крэмнія і нітрыду крэмнія.

Звычайны пакет:

Перавага:

①Высокая чысціня, апошняе абсталяванне;

②Вытворца сертыфіката ISO;

③Хуткая дастаўка;

④Сістэма он-лайн аналізу для кантролю якасці на кожным этапе;

⑤Высокія патрабаванні і дбайны працэс апрацоўкі цыліндру перад напаўненнем;