Тэтрафтарыд вугляроду (CF4)

Тэхнічныя параметры

Тэтрафтарыд вугляроду — гэта галагенаваны вуглевадарод з хімічнай формулай CF4. Яго можна разглядаць як галагенаваны вуглевадарод, галагенаваны метан, перфторвуглярод або як неарганічнае злучэнне. Тэтрафтарыд вугляроду — гэта бясколерны і безпахны газ, нерастваральны ў вадзе, растваральны ў бензоле і хлараформе. Стабільны пры нармальнай тэмпературы і ціску, пазбягайце моцных акісляльнікаў, лёгкаўзгаральных або гаручых матэрыялаў. Негаручы газ, унутраны ціск у кантэйнеры павялічваецца пры ўздзеянні высокай тэмпературы, і існуе небяспека расколін і выбуху. Ён хімічна стабільны і неўзгаральны. Пры пакаёвай тэмпературы можа працаваць толькі вадкі металічны рэагент аміяк-натрый. Тэтрафтарыд вугляроду — гэта газ, які выклікае парніковы эфект. Ён вельмі стабільны, можа доўга заставацца ў атмасферы і з'яўляецца вельмі магутным парніковым газам. Тэтрафтарыд вугляроду выкарыстоўваецца ў працэсе плазменнага травлення розных інтэгральных схем. Ён таксама выкарыстоўваецца ў якасці лазернага газу і выкарыстоўваецца ў нізкатэмпературных халадзільных агентах, растваральніках, змазках, ізаляцыйных матэрыялах і астуджальных вадкасцях для інфрачырвоных дэтэктараў. Гэта найбольш выкарыстоўваны газ для плазменнага травлення ў мікраэлектроннай прамысловасці. Гэта сумесь высокачыстага газу тэтрафторметану і высокачыстага газу тэтрафторметану і высокачыстага кіслароду. Ён можа шырока выкарыстоўвацца ў крэмніі, дыяксіде крэмнію, нітрыдзе крэмнію і фосфасілікатным шкле. Траўленне тонкаплёнкавых матэрыялаў, такіх як вальфрам і вальфрам, таксама шырока выкарыстоўваецца для ачысткі паверхняў электронных прылад, вытворчасці сонечных батарэй, лазерных тэхналогій, нізкатэмпературнага халадзільніка, праверкі на ўцечкі і мыйнага сродку ў вытворчасці друкаваных плат. Выкарыстоўваецца ў якасці нізкатэмпературнага холадагенту і тэхналогіі плазменнага сухога травлення для інтэгральных схем. Меры засцярогі пры захоўванні: захоўваць у прахалодным, вентыляваным складзе негаручых газаў. Берагчы ад агню і крыніц цяпла. Тэмпература захоўвання не павінна перавышаць 30°C. Захоўваць асобна ад лёгкаўзгаральных рэчываў і акісляльнікаў, пазбягаць сумеснага захоўвання. Месца захоўвання павінна быць абсталявана абсталяваннем для аварыйнай апрацоўкі ўцечак.

Прымяненне:

① Хладагент:

Тэтрафторметан часам выкарыстоўваецца ў якасці нізкатэмпературнага холадагенту.

② Травленне:

Ён выкарыстоўваецца ў мікравытворчасці электронікі асобна або ў спалучэнні з кіслародам у якасці плазменнага травільніка для крэмнію, дыяксіду крэмнію і нітрыду крэмнію.

Звычайны пакет:

Перавага:

①Высокая чысціня, найноўшае абсталяванне;

②Вытворца сертыфіката ISO;

③Хуткая дастаўка;

④Сістэма анлайн-аналізу для кантролю якасці на кожным этапе;

⑤Высокія патрабаванні і дбайны працэс апрацоўкі цыліндра перад запаўненнем;