Ультравысокая чысціня (UHP) газы-гэта жыццёвая сіла паўправадніковай галіны. Паколькі беспрэцэдэнтны попыт і парушэнні ў глабальныя ланцужкі паставак падштурхоўваюць цану звышвысокага ціску газу, новы паўправадніковы дызайн і практыка вытворчасці павялічваюць узровень неабходнага кантролю над забруджваннем забруджвання. Для вытворцаў паўправаднікоў, магчымасць забяспечыць чысціню газу UHP важней, чым калі -небудзь.

Ультра высокая чысціня (UHP) газы абсалютна крытычныя ў сучасным вытворчасці паўправаднікоў

Адным з асноўных прымянення газу UHP з'яўляецца інерцыя: UHP Gas выкарыстоўваецца для забеспячэння ахоўнай атмасферы вакол паўправадніковых кампанентаў, тым самым абараняючы іх ад шкоднага ўздзеяння вільгаці, кіслароду і іншых забруджванняў у атмасферы. Аднак інерцыя - гэта толькі адна з многіх розных функцый, якую выконваюць газы ў паўправадніковай галіне. Ад першасных плазменных газаў да рэактыўных газаў, якія выкарыстоўваюцца пры тручэнні і адпалу, ультра-высокія пад ціскавыя газы выкарыстоўваюцца для розных мэтаў і маюць важнае значэнне па ўсёй ланцугу паставак паўправаднікоў.

Некаторыя з "асноўных" газаў у паўправадніковай галіне ўключаюцьазот(выкарыстоўваецца ў якасці агульнай чысткі і інертнага газу),аргон(выкарыстоўваецца ў якасці першаснага плазменнага газу ў рэакцыях тручэння і нанясення),гелій(выкарыстоўваецца ў якасці інертнага газу са спецыяльнымі ўласцівасцямі цеплавога пераносу) івадарод(гуляе некалькі роляў у адпаленым, адкладзе, эпітаксі і ачыстцы плазмы).

Па меры таго, як паўправадніковая тэхналогія развівалася і змянялася, і газы, якія выкарыстоўваюцца ў працэсе вытворчасці. Сёння паўправадніковыя вытворчыя расліны выкарыстоўваюць шырокі спектр газаў: ад высакародных газаў, такіх якКрыптаніновыДля рэактыўных відаў, такіх як трыфторид азоту (NF 3) і вальфрамавы гексафтор (WF 6).

Расце попыт на чысціню

З моманту вынаходкі першай камерцыйнай мікрачыпа, свет стаў сведкам дзіўнага амаль экспанентнага павелічэння прадукцыйнасці паўправадніковых прылад. За апошнія пяць гадоў адзін з самых верных спосабаў дасягнуць такога роду паляпшэння прадукцыйнасці адбыўся праз "маштабаванне памераў": зніжэнне ключавых памераў існуючых архітэктур чыпаў, каб выціснуць больш транзістараў у зададзеную прастору. У дадатак да гэтага, распрацоўка новых архітэктур чыпаў і выкарыстанне перадавых матэрыялаў стварылі скачкі ў прадукцыйнасці прылады.

Сёння крытычныя памеры перадавых паўправаднікаў настолькі малая, што маштабаванне памераў ужо не з'яўляецца жыццяздольным спосабам павышэння прадукцыйнасці прылады. Замест гэтага, паўправадніковыя даследчыкі шукаюць рашэнні ў выглядзе новых матэрыялаў і архітэктуры 3D чыпаў.

Дзесяцігоддзі нястомных пераабсталяванняў азначае, што сённяшнія паўправадніковыя прылады значна больш магутныя, чым старыя мікрачыпы - але яны таксама больш далікатныя. З'яўленне тэхналогіі вырабу пласцін на 300 мм павялічыла ўзровень кантролю прымешак, неабходнага для вытворчасці паўправаднікоў. Нават найменшае забруджванне ў працэсе вытворчасці (асабліва рэдкіх або інертных газаў) можа прывесці да адмовы катастрафічнага абсталявання - таму чысціня газу цяпер важней, чым калі -небудзь.

Для тыповага паўправадніковага завода вырабу, ультра-высокі газ, які ўжо з'яўляецца самым вялікім матэрыяльным выдаткам пасля самога крэмнію. Чакаецца, што гэтыя выдаткі толькі павялічваюцца, паколькі попыт на паўправаднікоў узлятае да новых вышынь. Падзеі ў Еўропе выклікалі дадатковыя парушэнні на напружаны рынак прыроднага газу звышвысокага ціску. Украіна-адзін з найбуйнейшых у свеце экспарцёраў высокай чысцініновызнакі; Расейскае ўварванне азначае, што запасы рэдкіх газаў стрымліваюцца. Гэта ў сваю чаргу прывяло да недахопу і павышэння коштаў на іншыя высакародныя газы, такія якКрыптаніксенон.