Трыхларыд бору (BCl3)— неарганічнае злучэнне, якое звычайна выкарыстоўваецца ў працэсах сухога травлення і хімічнага асаджэння з паравой фазы (CVD) у вытворчасці паўправаднікоў. Гэта бясколерны газ з моцным рэзкім пахам пры пакаёвай тэмпературы, адчувальны да вільготнага паветра, бо гідралізуецца з утварэннем салянай і борнай кіслаты.

Прымяненне трыхларыду бору

У паўправадніковай прамысловасці,Трыхларыд боруУ асноўным выкарыстоўваецца для сухога травлення алюмінію і ў якасці легуючай дабаўкі для фарміравання P-тыпу абласцей на крэмніевых пласцінах. Яго таксама можна выкарыстоўваць для травлення такіх матэрыялаў, як GaAs, Si, AlN, і ў якасці крыніцы бору ў некаторых канкрэтных выпадках. Акрамя таго, трыхларыд бору шырока выкарыстоўваецца ў металаапрацоўцы, шкляной прамысловасці, хімічным аналізе і лабараторных даследаваннях.

Бяспека трыхларыду бору

Трыхларыд боруз'яўляецца каразійным і таксічным рэчывам, можа выклікаць сур'ёзныя пашкоджанні вачэй і скуры. У вільготным паветры ён гідралізуецца з вылучэннем таксічнага газападобных хлорыстых вадародаў. Таму пры выкарыстанні неабходна прымаць адпаведныя меры бяспекі.Трыхларыд бору, у тым ліку нашэнне ахоўнага адзення, ахоўных акуляраў і сродкаў абароны органаў дыхання, а таксама праца ў добра вентыляваным памяшканні.