Эпітаксія (рост)Змешаны GAs

У паўправадніковай галіне газ, які выкарыстоўваецца для вырошчвання аднаго або некалькіх слаёў матэрыялу пры дапамозе хімічнага пары на старанна падабраным субстраце, называецца эпітаксіяльным газам.

Звычайна выкарыстоўваюцца крэмніевыя эпітаксіяльныя газы ўключаюць дыхларасілан, тэтрахлорыд крэмнію іСілан. У асноўным выкарыстоўваецца для эпітаксіяльнага адкладу крэмнію, адкладанне плёнкі ў крэмніе, плёнкавы адклад нітрыду крэмнію, аморфную крэмнійную плёнку для сонечных элементаў і іншых фотарэцэптараў і г.д. Эпітаксі - гэта працэс, у якім адзін крыштальны матэрыял адкладаецца і вырошчваецца на паверхні падстрата.

Змешаны газ хімічнага пары (ССЗ)

ССЗ - гэта метад нанясення пэўных элементаў і злучэнняў з дапамогай хімічных рэакцый газавай фазы з выкарыстаннем лятучых злучэнняў, гэта значыць, метадам фарміравання фільма з выкарыстаннем хімічных рэакцый газавай фазы. У залежнасці ад тыпу ўтворанай плёнкі, выкарыстоўваецца газ хімічнага пары (ССЗ).

ДопінгЗмешаны газ

У вытворчасці паўправадніковых прыбораў і ўбудаваных схем пэўныя прымешкі легаюцца ў паўправадніковыя матэрыялы, каб даць матэрыялам неабходны тып праводнасці і пэўны супраціў вырабу рэзістараў, PN -развязкі, пахаваныя пласты і г.д. Газ, які выкарыстоўваецца ў працэсе допінгу, называецца допінгавым газам.

Mainly includes arsine, phosphine, phosphorus trifluoride, phosphorus pentafluoride, arsenic trifluoride, arsenic pentafluoride,бор трыфторид, Дыбаран і г.д.

Звычайна крыніца допінгу змешваецца з газам -носьбітам (напрыклад, аргонам і азотам) у шафе зыходнай шафы. Пасля змешвання паток газу пастаянна ўводзіцца ў дыфузійную печ і акружае пласціну, адкладаючы легі на паверхні пласціны, а затым рэагуе з крэмніем, каб стварыць легіраваныя металы, якія мігруюць у крэмній.

АфортГазавая сумесь

Праграма - гэта адключэнне паверхні апрацоўкі (напрыклад, металічная плёнка, плёнка аксіду крэмнія і г.д.) на падкладцы без фотарэзіста, захоўваючы вобласць пры маскіроўцы фотарэзіста, каб атрымаць неабходную карціну візуалізацыі на паверхні субстрата.

Метады тручэння ўключаюць вільготнае хімічнае тручэнне і сухое хімічнае тручэнне. Газ, які выкарыстоўваецца пры сухім хімічным тручэнні, называюць тручэннем газам.

Атрадыраванне газу звычайна фторны газ (галогенід), напрыклад,вугляродны тэтрафторид.