Вадарод хларыдгэта бясколерны газ з рэзкім пахам. Яго водны раствор называюць салянай кіслатой, таксама вядомай як саляная кіслата. Хларыд вадароду вельмі раствараецца ў вадзе. Пры 0 ° С, 1 аб'ём вады можа растварацца каля 500 аб'ёмаў хлорыстага вадароду.

Ён мае наступныя ўласцівасці і характарыстыкі:

1. Высокая чысціня

Чысціня электроннага класавадарод хларыдвельмі высокі, як правіла, на праміле або ніжэйшым узроўні, каб гарантаваць, што ў працэс вытворчасці паўправаднікоў не ўводзіцца ніякіх прымешак.

2. Інертнасць

Гэта хімічна інертны газ, які не рэагуе з многімі іншымі рэчывамі, што вельмі важна для прадухілення забруджвання паўправадніковых матэрыялаў і абсталявання.

3. Высокая ўстойлівасць

Электронны класвадарод хларыдЗвычайна мае стабільную хімію для забеспячэння надзейнай паўправадніковай апрацоўкі.

У паўправадніковай апрацоўцы асноўныя прымяненне хларыду электроннага вадароду ўключаюць:

1. Ачыстка і падрыхтоўка паверхні

У якасці эфектыўнага ачышчальніка паверхні, электронны класвадарод хларыдвыкарыстоўваецца для выдалення аксідаў і прымешак з паверхні падкладкі, каб забяспечыць якасць і чысціню эпітаксіяльнага пласта або плёнкі.

2. Эпітаксіальны дапамогу росту

Выкарыстоўваецца ў якасці лячэння паверхні ў эпітаксіяльным працэсе, гэта дапамагае палепшыць якасць эпітаксіяльнага пласта, палепшыць супастаўленне рашотак і знізіць адукацыю дэфектаў кратаў.

3. Падкладка папярэдняй апрацоўкі

Перад падрыхтоўкай паўправадніковых прыбораў, электронны класвадарод хларыдМожа быць выкарыстаны для лячэння паверхні падкладкі, утвараючы стабільную аснову для паляпшэння адгезіі паміж эпітаксіяльным пластом і субстратам.

4. Адкладанне дапаможнага агента

У працэсе адкладу хімічнага пары (ССЗ) або фізічнага адкладання пары (PVD) электронны хларыд вадароду можа быць выкарыстаны ў якасці асяроддзя перадачы газавай фазы для ўдзелу ў рэакцыі адкладу паўправадніковых матэрыялаў.

5. Агент па перадачы газа-фазы

У якасці агента па перадачы газафазы іншыя газападобныя папярэднікі ўводзяцца ў рэакцыйную камеру, каб дапамагчы наладзіць хуткасць адкладу і аднастайнасць матэрыялу.

Гэтыя характарыстыкі робяць электронны класвадарод хларыдВажны агент апрацоўкі ў тэхналогіі паўправаднікоў, які аказвае ключавы ўплыў на прадукцыйнасць і надзейнасць канчатковага прылады.

У дадатак да яго выкарыстання ў паўправадніковай апрацоўцы, электронны хларыд вадароду можа знайсці розныя ўжыванні ў іншых галінах, у тым ліку: падрыхтоўка матэрыялаў з высокай чысцінёй, паліўныя элементы, рост паўправадніковага матэрыялу, літаграфію парах, аналіз матэрыялаў, хімічныя даследаванні.

Увогуле, электронны класвадарод хларыдгэта універсальны газ з высокай чысцінёй, які мае шырокі спектр прыкладанняў па -за межамі паўправадніковага вытворчасці.