У працэсе вытворчасці паўправадніковых ліцейных вырабаў з адносна прасунутымі вытворчымі працэсамі неабходна амаль 50 розных тыпаў газаў. Газы, як правіла, дзеляцца на аб'ёмныя газы іСпецыяльныя газы.

Прымяненне газаў у мікраэлектронікі і паўправадніковых галінах Прымяненне газаў заўсёды адыгрывала важную ролю ў паўправадніковых працэсах, асабліва паўправадніковых працэсаў шырока выкарыстоўваецца ў розных галінах. Ад ULSI, TFT-LCD да сучаснай мікраэлектрамеханічнай (MEMS) прамысловасці, паўправадніковыя працэсы выкарыстоўваюцца ў якасці працэсаў вытворчасці прадуктаў, уключаючы сухое тручэнне, акісленне, іённае імплантацыю, тонкую адкладанне плёнкі і г.д.

Напрыклад, многія ведаюць, што чыпы вырабляюцца з пяску, але, гледзячы на ​​ўвесь працэс вырабу чыпаў, неабходна больш матэрыялаў, напрыклад, фотарэзіст, паліроўка вадкасці, мэтавы матэрыял, спецыяльны газ і г.д., неабходныя. Упакоўка задняй часткі таксама патрабуе субстратаў, інтэрванцаў, свінцовых кадраў, злучальных матэрыялаў і г.д. розных матэрыялаў. Электронныя спецыяльныя газы - другі па велічыні матэрыялы ў паўправадніковых выдатках на вытворчасць пасля крэмнію, а затым маскі і фотарэзісты.

Чысціня газу аказвае вырашальны ўплыў на прадукцыйнасць кампанентаў і ўраджайнасць прадуктаў, а бяспека пастаўкі газу звязана са здароўем персаналу і бяспекай заводскай працы. Чаму чысціня газу аказвае такі вялікі ўплыў на лінію працэсу і персанал? Гэта не перабольшванне, але вызначаецца небяспечнымі характарыстыкамі самога газу.

Класіфікацыя агульных газаў у паўправадніковай галіне

Звычайны газ

Звычайны газ таксама называюць масавым газам: ён ставіцца да прамысловага газу з патрабаваннем чысціні ніжэй за 5N і вялікім аб'ёмам вытворчасці і продажаў. Яго можна падзяліць на газ па аддзяленні паветра і сінтэтычны газ у адпаведнасці з рознымі метадамі падрыхтоўкі. Вадарод (H2), азот (N2), кісларод (O2), аргон (A2) і г.д.;

Спецыяльны газ

Спецыяльны газ ставіцца да прамысловага газу, які выкарыстоўваецца ў пэўных галінах і мае асаблівыя патрабаванні да чысціні, разнастайнасці і ўласцівасцей. ПераважнаSih4, PH3, B2H6, A8H3,HCl, Cf4,NH3, Pocl3, sih2cl2, sihcl3,NH3, Bcl3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… І гэтак далей.

Тыпы прывітальных газаў

Тыпы спецыяльных газаў: агрэсіўная, таксічная, гаручая, падтрымлівальная да гарэння, інертная і г.д.
Звычайна выкарыстоўваюцца паўправадніковыя газы, класіфікуюцца наступным чынам:
(i) агрэсіўная/таксічная:HCl、 Bf3 、 wf6 、 hbr 、 sih2cl2 、 nh3 、 ph3 、 cl2 、Bcl3...
(ii) гаручы: H2 、CH4、Sih4、 PH3 、 ASH3 、 SIH2CL2 、 B2H6 、 CH2F2 、 CH3F 、 CO ...
(iii) Гарачы: O2 、 Cl2 、 N2O 、 NF3 ...
(iv) Інерт: N2 、Cf4、 C2F6 、C4F8、SF6、 CO2 、Ne、Kr、 Ён ...

У працэсе вытворчасці паўправадніковых чыпаў прыблізна 50 розных тыпаў спецыяльных газаў (званымі як спецыяльныя газы) выкарыстоўваюцца ў акісленні, дыфузіі, адкладзе, тручэння, ін'екцыі, фоталітаграфіі і іншых працэсах, а агульныя этапы працэсу перавышаюць сотні. Напрыклад, PH3 і ASH3 выкарыстоўваюцца ў якасці фосфару і мыш'яку ў працэсе імплантацыі іёнаў, газы на аснове F CF4, CHF3, SF6 і газы галагена CI2, BCI3, HBR звычайна выкарыстоўваюцца ў працэсе афорта, SIH4, NH3, N2O ў працэсе фільма F2/KR/NE ў працэсе POTOLTO.

З прыведзеных вышэй аспектаў мы можам зразумець, што многія паўправадніковыя газы шкодныя для чалавечага цела. У прыватнасці, некаторыя газы, такія як SIH4, самаўзгодныя. Пакуль яны прасочваюцца, яны будуць жорстка рэагаваць з кіслародам у паветры і пачнуць гарэць; і попел3 вельмі таксічны. Любая нязначная ўцечка можа нанесці шкоду жыцця людзей, таму патрабаванні да бяспекі праектавання сістэмы кіравання для выкарыстання спецыяльных газаў асабліва высокія.

Паўправаднікі патрабуюць ад газаў высокай чысціні, каб "тры градусы"

Чысціня газу

Змест атмасферы прымешкі ў газе звычайна выражаецца ў працэнтах да газавай чысціні, напрыклад, 99,9999%. Наогул кажучы, патрэба ў чысціні для электронных спецыяльных газаў дасягае 5N-6N, а таксама выражаецца па аб'ёме суадносін утрымання атмасферы прымешак PPM (частка на мільён), PPB (частка на мільярд) і PPT (частка за трыльён). Электроннае паўправадніковае поле мае самыя высокія патрабаванні да чысціні і стабільнасці якасці спецыяльных газаў, а чысціня электронных спецыяльных газаў, як правіла, перавышае 6N.

Сухасць

Змест трасавай вады ў газе або вільготнасці звычайна выражаецца ў кропцы расы, напрыклад, у атмасфернай кропцы расы -70 ℃.

Чыстата

Колькасць часціц забруджвальных рэчываў у газе, часціцы з памерам часціц мкМ, выражаецца ў тым, колькі часціц/м3. Для сціснутага паветра звычайна экспрэсуецца ў мг/м3 непазбежных цвёрдых рэшткаў, які ўключае ў сябе ўтрыманне алею.