У 2018 годзе сусветны рынак электроннага газу для комплексных схем дасягнуў 4,512 млрд долараў ЗША, павялічыўшыся на 16%. Высокі тэмп росту электроннай газавай прамысловасці для паўправаднікоў і велізарны памер рынку паскорылі план унутранай замены электроннага спецыяльнага газу!
Што такое электронны газ?
Электронны газ ставіцца да асноўнага зыходнага матэрыялу, які выкарыстоўваецца пры вытворчасці паўправаднікоў, плоскіх дысплеяў, лёгкіх дыёдаў, сонечных элементаў і іншых электронных прадуктаў, і шырока выкарыстоўваецца ў чыстцы, тручэнні, фарміраванні фільма, допінгу і іншых працэсаў. Асноўныя напрамкі электроннага газу ўключаюць галіну электронікі, сонечныя батарэі, мабільныя сувязі, аўтамабільныя навігацыі і аўдыё -сістэмы аўтамабіляў, аэракасмічную, ваенную прамысловасць і многія іншыя сферы.
Электронны спецыяльны газ можна падзяліць на сем катэгорый у залежнасці ад уласнага хімічнага складу: крэмній, мыш'як, фосфар, бор, металічны гідрыд, галогенід і металічны алкоксід. Згодна з рознымі спосабамі ўжывання ў інтэграваных схемах, яго можна падзяліць на допінг газу, газ эпітакксі, газ імплантацыі іёнаў, газ, які выпраменьвае святло, газ, тручэнне газу, газавы газ хімічнага пара і баланс. У паўправадніковай галіне, якія выкарыстоўваюцца больш за 110 адзінак, выкарыстоўваюцца больш за 30.
Звычайна вытворчасць паўправаднікоў падзяляе газы на два тыпы: звычайныя газы і спецыяльныя газы. Сярод іх звычайна выкарыстоўваецца газ ставіцца да цэнтралізаванага харчавання і выкарыстоўвае шмат газу, напрыклад, N2, H2, O2, AR, HE і г.д. Спецыяльны газ ставіцца да некаторых хімічных газаў, якія выкарыстоўваюцца ў працэсе вытворчасці паўправаднікоў, такіх як пашырэнне, іённы ін'екцыя, змешванне, мыццё і фарміраванне маскі, што мы зараз называем спецыяльны электронны газ, такі, як высокая ўтварэнне SIH4, PH3, ASH3, B2, B2, N2, N 2, n 2, N, які мы называем спецыяльны электронны газ, такі, як высокапрадукцыйная SIH4, PH3, ASH3, B2, B26, N2, n 2, N, n2 NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCL, CL2 і г.д.
У цэлым вытворчым працэсе паўправадніковай галіны, ад росту чыпаў да канчатковай упакоўкі прылад, практычна кожная сувязь неаддзельная ад электроннага спецыяльнага газу, а таксама разнастайнасць выкарыстоўванага газу і якасных патрабаванняў, таму электронны газ мае паўправадніковыя матэрыялы. "Ежа".
У апошнія гады асноўныя электронныя кампаненты ў Кітаі, такія як паўправаднікі і дысплейныя панэлі, павялічыліся ў новай вытворчай магутнасці, і існуе вялікі попыт на замену імпарту электронных хімічных матэрыялаў. Палажэнне электронных газаў у паўправадніковай галіне становіцца ўсё больш прыкметным. Унутраная электронная газавая прамысловасць прывядзе да хуткага росту.
Электронны спецыяльны газ мае вельмі высокія патрабаванні да чысціні, таму што, калі чысціня не адпавядае патрабаванням, групы прымешак, такія як вадзяная пара і кісларод у электронным спецыяльным газе, лёгка ўтвараюць аксідную плёнку на паверхні паўправадніковых, якія ўплываюць на тэрмін службы электронных прылад, а электронны спецыяльны газ змяшчае часціцы прымянення, якія могуць прывесці да паўправадніковых шорт -цыклаў. Можна сказаць, што паляпшэнне чысціні гуляе жыццёва важную ролю ў выхадзе і прадукцыйнасці вытворчасці электронных прылад.
З пастаянным развіццём паўправадніковай галіны працэс вытворчасці чыпаў працягвае ўдасканальвацца, і цяпер ён дасягнуў 5 нм, што хутка падыдзе да мяжы закона Мура, што эквівалентна аднаразовым дыяметры валасоў чалавека (каля 0,1 мм). Такім чынам, гэта таксама прадугледжвае больш высокія патрабаванні да чысціні электроннага спецыяльнага газу, які ўтвараецца паўправаднікамі.
Час паведамлення: 15 снежня 2011 г.
