У 2018 годзе сусветны рынак электроннага газу для інтэгральных схем дасягнуў 4,512 мільярда долараў ЗША, павялічыўшыся ў параўнанні з аналагічным перыядам мінулага года на 16%. Высокія тэмпы росту індустрыі электроннага спецыяльнага газу для паўправаднікоў і велізарны памер рынку паскорылі ўнутраны план замены электроннага спецыяльнага газу!
Што такое электронны газ?
Электронны газ адносіцца да асноўнага зыходнага матэрыялу, які выкарыстоўваецца ў вытворчасці паўправаднікоў, плоскіх дысплеяў, святловыпрамяняльных дыёдаў, сонечных батарэй і іншых электронных прадуктаў, і шырока выкарыстоўваецца ў ачыстцы, тручэнні, фармаванні плёнкі, легіраванні і іншых працэсах. Асноўныя вобласці прымянення электроннага газу ўключаюць электронную прамысловасць, сонечныя элементы, мабільную сувязь, аўтамабільную навігацыю і аўтамабільныя аўдыё- і відэасістэмы, аэракасмічную прамысловасць, ваенную прамысловасць і многія іншыя галіны.
Электронны спецыяльны газ можна падзяліць на сем катэгорый у залежнасці ад яго ўласнага хімічнага складу: крэмній, мыш'як, фосфар, бор, гідрыд металу, галогенид і алкоксид металу. У адпаведнасці з рознымі метадамі прымянення ў інтэгральных схемах, яго можна падзяліць на газ для легіравання, газ для эпітаксіі, газ для іоннай імплантацыі, святловыпрамяняльны дыёдны газ, газ для тручэння, газ для хімічнага асаджэння з паравай фазы і балансавы газ. Існуе больш за 110 адзінак спецыяльных газаў, якія выкарыстоўваюцца ў паўправадніковай прамысловасці, з якіх больш за 30 выкарыстоўваюцца звычайна.
Як правіла, прамысловасць вытворчасці паўправаднікоў падзяляе газы на два тыпу: звычайныя газы і спецыяльныя газы. Сярод іх звычайна выкарыстоўваны газ адносіцца да цэнтралізаванага забеспячэння і выкарыстоўвае шмат газу, напрыклад N2, H2, O2, Ar, He і г. д. Спецыяльны газ адносіцца да некаторых хімічных газаў, якія выкарыстоўваюцца ў працэсе вытворчасці паўправаднікоў, такіх як пашырэнне, увядзенне іёнаў, змешванне, прамыванне і фарміраванне маскі, якую мы цяпер называем спецыяльным электронным газам, такім як высокачысты SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 і інш.
Ва ўсім вытворчым працэсе паўправадніковай прамысловасці, ад росту чыпа да канчатковай упакоўкі прылады, амаль кожнае звяно неаддзельнае ад электроннага спецыяльнага газу, а таксама разнастайнасці выкарыстоўванага газу і высокіх патрабаванняў да якасці, таму электронны газ мае паўправадніковыя матэрыялы. «Ежа».
У апошнія гады асноўныя электронныя кампаненты Кітая, такія як паўправаднікі і дысплейныя панэлі, павялічылі новыя вытворчыя магутнасці, і існуе вялікі попыт на імпартазамяшчэнне электронных хімічных матэрыялаў. Становішча электронных газаў у паўправадніковай прамысловасці становіцца ўсё больш прыкметным. Айчынная электронная газавая прамысловасць пачне хуткі рост.
Электронны спецыяльны газ мае вельмі высокія патрабаванні да чысціні, таму што калі чысціня не адпавядае патрабаванням, групы прымешак, такія як вадзяная пара і кісларод у электронным спецыяльным газе, лёгка ўтвараюць аксідную плёнку на паверхні паўправадніка, што ўплывае на Тэрмін службы электронных прылад, а электронны спецыяльны газ змяшчае часціцы прымешак, якія могуць выклікаць кароткае замыканне паўправаднікоў і пашкоджанне ланцуга. Можна сказаць, што павышэнне чысціні гуляе важную ролю ў прыбытковасці і прадукцыйнасці вытворчасці электронных прылад.
З бесперапынным развіццём паўправадніковай прамысловасці працэс вытворчасці мікрасхем працягвае ўдасканальвацца, і цяпер ён дасягнуў 5 нм, што набліжаецца да мяжы закона Мура, што эквівалентна адной дваццатай дыяметра чалавечага воласа ( каля 0,1 мм). Такім чынам, гэта таксама вылучае больш высокія патрабаванні да чысціні электроннага спецыяльнага газу, вырабленага паўправаднікамі.
Час публікацыі: 15 снежня 2021 г
