У 2018 годзе сусветны рынак электронных газаў для інтэгральных схем дасягнуў 4,512 мільярда долараў ЗША, што на 16% больш, чым у мінулым годзе. Высокія тэмпы росту прамысловасці электронных спецыяльных газаў для паўправаднікоў і велізарны памер рынку паскорылі рэалізацыю ўнутранага плана замяшчэння электронных спецыяльных газаў!
Што такое электронны газ?
Электронны газ адносіцца да асноўнага зыходнага матэрыялу, які выкарыстоўваецца ў вытворчасці паўправаднікоў, плоскіх дысплеяў, святлодыёдаў, сонечных элементаў і іншых электронных вырабаў, і шырока выкарыстоўваецца ў працэсах ачысткі, травлення, фарміравання плёнак, легавання і іншых. Асноўнымі сферамі прымянення электроннага газу з'яўляюцца электронная прамысловасць, сонечныя элементы, мабільная сувязь, аўтамабільная навігацыя і аўтамабільныя аўдыё- і відэасістэмы, аэракасмічная прамысловасць, ваенная прамысловасць і многія іншыя галіны.
Спецыяльны газ для электронікі можна падзяліць на сем катэгорый у залежнасці ад яго хімічнага складу: крэмній, мыш'як, фосфар, бор, гідрыд металу, галагенід і алкоксид металу. У залежнасці ад розных спосабаў прымянення ў інтэгральных схемах, яго можна падзяліць на легіруючы газ, газ эпітаксіі, газ іённай імплантацыі, газ для святлодыёдаў, газ для травлення, газ для хімічнага асаджэння з паравой фазы і балансавы газ. У паўправадніковай прамысловасці выкарыстоўваецца больш за 110 відаў спецыяльных газаў, з якіх больш за 30 з'яўляюцца найбольш распаўсюджанымі.
Звычайна ў вытворчасці паўправаднікоў газы падзяляюцца на два тыпы: звычайныя газы і спецыяльныя газы. Сярод іх, звычайна выкарыстоўваны газ адносіцца да цэнтралізаванай падачы і выкарыстоўвае шмат газу, напрыклад, N2, H2, O2, Ar, He і г.д. Спецыяльны газ адносіцца да некаторых хімічных газаў, якія выкарыстоўваюцца ў працэсе вытворчасці паўправаднікоў, такіх як пашырэнне, увядзенне іонаў, змешванне, прамыванне і фарміраванне маскі, якія мы цяпер называем электронным спецыяльным газам, такім як высокачысты SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 і г.д.
Ва ўсім вытворчым працэсе паўправадніковай прамысловасці, ад вырошчвання чыпаў да канчатковай упакоўкі прылады, амаль кожнае звяно неаддзельнае ад спецыяльнага электроннага газу, а таксама ад разнастайнасці выкарыстоўванага газу і высокіх патрабаванняў да якасці, таму электронны газ мае паўправадніковыя матэрыялы. «Ежа».
У апошнія гады ў Кітаі павялічыліся вытворчыя магутнасці па вытворчасці асноўных электронных кампанентаў, такіх як паўправаднікі і дысплейныя панэлі, і існуе вялікі попыт на імпартазамяшчэнне хімічных матэрыялаў для электронікі. Пазіцыя электронных газаў у паўправадніковай прамысловасці становіцца ўсё больш значнай. Айчынная прамысловасць электронных газаў будзе хутка развівацца.
Патрабаванні да чысціні спецыяльнага газу для электронікі вельмі высокія, бо калі чысціня не адпавядае патрабаванням, прымешкі, такія як вадзяная пара і кісларод, лёгка ўтвараюць аксідную плёнку на паверхні паўправадніка, што ўплывае на тэрмін службы электронных прылад, а часціцы прымешак, якія ўтрымліваюцца ў спецыяльным газе для электронікі, могуць выклікаць кароткае замыканне паўправадніка і пашкоджанне ланцуга. Можна сказаць, што павышэнне чысціні адыгрывае жыццёва важную ролю ў выхадзе і прадукцыйнасці вытворчасці электронных прылад.
З пастаянным развіццём паўправадніковай прамысловасці працэс вытворчасці мікрасхем працягвае ўдасканальвацца і цяпер дасягнуў 5 нм, што амаль набліжаецца да мяжы закона Мура, эквівалентнай адной дваццатай дыяметра чалавечага валася (каля 0,1 мм). Такім чынам, гэта таксама вылучае больш высокія патрабаванні да чысціні спецыяльнага электроннага газу, які выпрацоўваецца паўправаднікамі.
Час публікацыі: 15 снежня 2021 г.
