Паўправадніковая прамысловасць і вытворчасць панэляў у нашай краіне падтрымліваюць высокі ўзровень дабрабыту. Трыфтарыд азоту, як незаменны і найбольш распаўсюджаны спецыяльны электронны газ у вытворчасці і апрацоўцы панэляў і паўправаднікоў, мае шырокі рынак.
Звычайна выкарыстоўваюцца фторзмяшчальныя спецыяльныя электронныя газы, у тым лікугексафтарыд серы (SF6), гексафтарыд вальфраму (WF6),тэтрафтарыд вугляроду (CF4), трыфторметан (CHF3), трыфтарыд азоту (NF3), гексафторэтан (C2F6) і актафторпрапан (C3F8). Трыфтарыд азоту (NF3) у асноўным выкарыстоўваецца ў якасці крыніцы фтору для высокаэнергетычных хімічных лазераў на фтарыда-фтарыдавадародным газе. Эфектыўная частка (каля 25%) энергіі рэакцыі паміж H2-O2 і F2 можа вызваляцца лазерным выпраменьваннем, таму HF-OF лазеры з'яўляюцца найбольш перспектыўнымі сярод хімічных лазераў.
Трыфтарыд азоту — выдатны газ для плазменнага травлення ў мікраэлектроннай прамысловасці. Пры травленні крэмнію і нітрыду крэмнію трыфтарыд азоту мае больш высокую хуткасць травлення і селектыўнасць, чым тэтрафтарыд вугляроду і сумесь тэтрафтарыду вугляроду з кіслародам, і не забруджвае паверхню. Асабліва пры травленні матэрыялаў інтэгральных схем таўшчынёй менш за 1,5 мкм трыфтарыд азоту мае вельмі выдатную хуткасць травлення і селектыўнасць, не пакідаючы рэшткаў на паверхні травленага аб'екта, а таксама з'яўляецца вельмі добрым ачышчальным сродкам. З развіццём нанатэхналогій і маштабным развіццём электроннай прамысловасці попыт на яго будзе расці з кожным днём.
Трыфтарыд азоту (NF3) — гэта тып фторзмяшчальнага спецыяльнага газу, які з'яўляецца найбольш распаўсюджаным электронным спецыяльным газам на рынку. Ён хімічна інертны пры пакаёвай тэмпературы, больш актыўны за кісларод, больш стабільны за фтор і просты ў выкарыстанні пры высокай тэмпературы.
Трыфтарыд азоту ў асноўным выкарыстоўваецца ў якасці газу для плазменнага травлення і ачышчальніка рэакцыйных камер, падыходзіць для вытворчасці такіх галін, як паўправадніковыя чыпы, плоскія дысплеі, аптычныя валокны, фотаэлектрычныя элементы і г.д.
У параўнанні з іншымі фторзмяшчальнымі электроннымі газамі, трыфтарыд азоту мае перавагі хуткай рэакцыі і высокай эфектыўнасці, асабліва пры травленні крэмнійзмяшчальных матэрыялаў, такіх як нітрыд крэмнію. Ён мае высокую хуткасць травлення і селектыўнасць, не пакідаючы рэшткаў на паверхні травленага аб'екта, а таксама з'яўляецца вельмі добрым ачышчальным сродкам, не забруджвае паверхню і можа задаволіць патрэбы працэсу апрацоўкі.
Час публікацыі: 26 снежня 2024 г.
