Агульныя адмысловыя электронныя газы, якія змяшчаюць фтор, ўключаюцьсеры гексафтор (SF6), вальфрамавы гексафторыд (WF6),вугляродны тэтрафтор (CF4), трифторметан (CHF3), трыфторид азоту (NF3), гексафторэтан (C2F6) і васьмінопторопан (C3F8).
З развіццём нанатэхналогій і маштабнай распрацоўкай электронікі, яго попыт будзе павялічвацца з кожным днём. Трыфторид азоту, як неабходны і найбуйнейшы спецыяльны электронны газ у вытворчасці і перапрацоўцы панэляў і паўправаднікоў, мае шырокую рыначную прастору.
Як тып спецыяльнага газу, які змяшчае фтор,Трыфторид азоту (NF3)гэта электронны спецыяльны газавы прадукт з найбольшай рынкавай магутнасцю. Гэта хімічна інертная пры пакаёвай тэмпературы, больш актыўны, чым кісларод пры высокай тэмпературы, больш устойлівы, чым фтор, і просты ў апрацоўцы. Трыфторид азоту ў асноўным выкарыстоўваецца ў якасці тручэння плазменнага тручэння і ачысткі рэакцыйнай камеры і падыходзіць для вытворчых палёў паўправадніковых чыпаў, плоскіх панэляў, аптычных валокнаў, фотаэлектрычных клетак і г.д.
У параўнанні з іншымі электроннымі газамі, якія змяшчаюць фтор,трыфторид азотумае перавагі хуткай рэакцыі і высокай эфектыўнасці. Асабліва ў тручэнні матэрыялаў, якія змяшчаюць крэмнію, такія як нітрыд крэмнію, ён мае высокую хуткасць тручэння і селектыўнасць, не пакідаючы рэшткаў на паверхні тручанага аб'екта. Гэта таксама вельмі добры агент па ўборцы і не мае забруджвання паверхні, што можа задаволіць патрэбы працэсу апрацоўкі.
Час паведамлення: 14 верасня 2014 г.
