Звычайныя фторзмяшчальныя спецыяльныя электронныя газы ўключаюцьгексафтарыд серы (SF6), гексафтарыд вальфраму (WF6),тэтрафтарыд вугляроду (CF4), трыфторметан (CHF3), трыфтарыд азоту (NF3), гексафторэтан (C2F6) і актафторпрапан (C3F8).
З развіццём нанатэхналогій і маштабным развіццём электроннай прамысловасці попыт на яго будзе расці з кожным днём. Трыфтарыд азоту, як незаменны і найбольш часта выкарыстоўваны спецыяльны электронны газ у вытворчасці і апрацоўцы панэляў і паўправаднікоў, мае шырокі рынак.
Як тып фторзмяшчальнага спецыяльнага газу,трыфтарыд азоту (NF3)з'яўляецца электронным спецыяльным газам з найбольшай рынкавай ёмістасцю. Ён хімічна інертны пры пакаёвай тэмпературы, больш актыўны, чым кісларод, пры высокай тэмпературы, больш стабільны, чым фтор, і просты ў выкарыстанні. Трыфтарыд азоту ў асноўным выкарыстоўваецца ў якасці газу для плазменнага травлення і ачышчальніка рэакцыйных камер, а таксама падыходзіць для вытворчасці паўправадніковых мікрасхем, плоскіх дысплеяў, аптычных валокнаў, фотаэлектрычных элементаў і г.д.
У параўнанні з іншымі фторзмяшчальнымі электроннымі газамі,трыфтарыд азотуМае перавагі хуткай рэакцыі і высокай эфектыўнасці. Асабліва пры травленні крэмнійзмяшчальных матэрыялаў, такіх як нітрыд крэмнію, ён мае высокую хуткасць травлення і селектыўнасць, не пакідаючы рэшткаў на паверхні травленага аб'екта. Ён таксама з'яўляецца вельмі добрым ачышчальным сродкам і не забруджвае паверхню, што можа задаволіць патрэбы працэсу апрацоўкі.
Час публікацыі: 14 верасня 2024 г.
