Агульныя фторзмяшчальныя спецыяльныя электронныя газы ўключаюцьгексафтарыд серы (SF6), гексафтарыд вальфраму (WF6),тетрафторид вугляроду (CF4), трыфтарметан (CHF3), трыфтарыд азоту (NF3), гексафтарэтан (C2F6) і актафтарпрапан (C3F8).
З развіццём нанатэхналогій і маштабным развіццём электроннай прамысловасці попыт на яе будзе расці з кожным днём. Трыфтарыд азоту, як незаменны і найбольш часта выкарыстоўваны спецыяльны электронны газ у вытворчасці і апрацоўцы панэляў і паўправаднікоў, мае шырокі рынак.
Як тып фторзмяшчальнага спецыяльнага газу,трыфтарыд азоту (NF3)з'яўляецца электронным спецыяльным газавым прадуктам з самай вялікай ёмістасцю рынку. Ён хімічна інэртны пры пакаёвай тэмпературы, больш актыўны, чым кісларод пры высокай тэмпературы, больш стабільны, чым фтор, і просты ў звароце. Трыфтарыд азоту ў асноўным выкарыстоўваецца ў якасці газу для плазменнага тручэння і ачышчальніка рэакцыйнай камеры і падыходзіць для вытворчасці паўправадніковых мікрасхем, плоскіх дысплеяў, аптычных валокнаў, фотаэлементаў і г.д.
У параўнанні з іншымі электроннымі газамі, якія змяшчаюць фтор,трифторид азотумае перавагі хуткай рэакцыі і высокай эфектыўнасці. Асабліва пры тручэнні матэрыялаў, якія змяшчаюць крэмній, такіх як нітрыд крэмнію, ён мае высокую хуткасць тручэння і селектыўнасць, не пакідаючы слядоў на паверхні вытраўленага аб'екта. Гэта таксама вельмі добры ачышчальны сродак і не забруджвае паверхню, што можа задаволіць патрэбы працэсу апрацоўкі.
Час публікацыі: 14 верасня 2024 г
