Гексафтарыд серы — гэта газ з выдатнымі ізаляцыйнымі ўласцівасцямі, які часта выкарыстоўваецца ў гашэнні дуг высокага напружання і трансфарматарах, высокавольтных лініях электраперадачы, трансфарматарах і г.д. Аднак, акрамя гэтых функцый, гексафтарыд серы таксама можа выкарыстоўвацца ў якасці электроннага травільніка. Гексафтарыд серы высокай чысціні электроннага класа — ідэальны электронны травільнік, які шырока выкарыстоўваецца ў галіне мікраэлектронных тэхналогій. Сёння рэдактар спецыяльнага газавага аддзела Ню Руідэ Юэюэ прадставіць прымяненне гексафтарыду серы ў травленні нітрыду крэмнію і ўплыў розных параметраў.
Мы абмяркоўваем працэс плазменнага травлення SiNx у SF6, у тым ліку змяненне магутнасці плазмы, суадносін газаў SF6/He і даданне катыённага газу O2, абмяркоўваем яго ўплыў на хуткасць травлення ахоўнага пласта элементаў SiNx TFT, а таксама выкарыстанне плазменнага выпраменьвання. Спектрометр аналізуе змены канцэнтрацыі кожнага віду ў плазме SF6/He, SF6/He/O2 і хуткасць дысацыяцыі SF6, а таксама даследуе сувязь паміж змяненнем хуткасці травлення SiNx і канцэнтрацыяй відаў плазмы.
Даследаванні паказалі, што пры павелічэнні магутнасці плазмы хуткасць травлення павялічваецца; калі хуткасць патоку SF6 у плазме павялічваецца, канцэнтрацыя атамаў F павялічваецца і станоўча карэлюе з хуткасцю травлення. Акрамя таго, пасля дадання катыённага газу O2 пры фіксаванай агульнай хуткасці патоку гэта прывядзе да павелічэння хуткасці травлення, але пры розных суадносінах патокаў O2/SF6 будуць адбывацца розныя механізмы рэакцыі, якія можна падзяліць на тры часткі: (1) Суадносіны патокаў O2/SF6 вельмі малыя, O2 можа спрыяць дысацыяцыі SF6, і хуткасць травлення ў гэты час вышэйшая, чым без дадання O2. (2) Калі суадносіны патокаў O2/SF6 большыя за 0,2 і набліжаюцца да 1, то ў гэты час з-за вялікай колькасці дысацыяцыі SF6 з утварэннем атамаў F хуткасць травлення найбольшая; але ў той жа час колькасць атамаў O ў плазме таксама павялічваецца, і з паверхняй плёнкі SiNx лёгка ўтвараюцца SiOx або SiNxO(yx), і чым больш атамаў O павялічваецца, тым цяжэй будзе праходзіць рэакцыя травлення для атамаў F. Такім чынам, хуткасць травлення пачынае запавольвацца, калі суадносіны O2/SF6 блізкія да 1. (3) Калі суадносіны O2/SF6 большыя за 1, хуткасць травлення зніжаецца. З-за значнага павелічэння O2 дысацыяваныя атамы F сутыкаюцца з O2 і ўтвараюць OF, што зніжае канцэнтрацыю атамаў F, што прыводзіць да зніжэння хуткасці травлення. З гэтага відаць, што пры даданні O2 суадносіны патоку O2/SF6 складае ад 0,2 да 0,8, і можна дасягнуць найлепшай хуткасці травлення.
Час публікацыі: 06 снежня 2021 г.
