Гексафтарыд серы з'яўляецца газам з выдатнымі ізаляцыйнымі ўласцівасцямі і часта выкарыстоўваецца ў высакавольтных дугогасительных трансфарматарах, высакавольтных лініях перадачы, трансфарматарах і г.д. Аднак у дадатак да гэтых функцый гексафтарыд серы можа таксама выкарыстоўвацца ў якасці электроннага травільніка . Электронны гексафтарыд серы высокай чысціні з'яўляецца ідэальным электронным травільнікам, які шырока выкарыстоўваецца ў галіне мікраэлектронных тэхналогій. Сёння рэдактар спецыяльных газаў Niu Ruide Yueyue прадставіць прымяненне гексафтарыду серы ў тручэнні нітрыду крэмнію і ўплыў розных параметраў.
Мы абмяркоўваем працэс плазменнага тручэння SF6 SiNx, уключаючы змяненне магутнасці плазмы, суадносіны газу SF6/He і даданне катыённага газу O2, абмяркоўваем яго ўплыў на хуткасць тручэння ахоўнага пласта элемента SiNx TFT і выкарыстанне плазменнага выпраменьвання. спектрометр аналізуе змены канцэнтрацыі кожнага віду ў плазме SF6/He, SF6/He/O2 і хуткасць дысацыяцыі SF6 і даследуе ўзаемасувязь паміж змяненнем хуткасці тручэння SiNx і канцэнтрацыяй відаў у плазме.
Даследаванні паказалі, што калі магутнасць плазмы павялічваецца, хуткасць тручэння павялічваецца; калі хуткасць патоку SF6 у плазме павялічваецца, канцэнтрацыя атамаў F павялічваецца і станоўча карэлюе з хуткасцю тручэння. Акрамя таго, пасля дадання катыённага газу O2 пры фіксаванай агульнай хуткасці патоку гэта будзе мець эфект павелічэння хуткасці тручэння, але пры розных суадносінах патоку O2/SF6 будуць розныя механізмы рэакцыі, якія можна падзяліць на тры часткі : (1) Суадносіны патоку O2/SF6 вельмі малыя, O2 можа спрыяць дысацыяцыі SF6, а хуткасць тручэння ў гэты час большая, чым калі O2 не дадаецца. (2) Калі суадносіны расходу O2/SF6 больш за 0,2 да інтэрвалу, які набліжаецца да 1, у гэты час, з-за вялікай колькасці дысацыяцыі SF6 з адукацыяй атамаў F, хуткасць тручэння самая высокая; але ў той жа час атамы O ў плазме таксама павялічваюцца, і лёгка ўтварыць SiOx або SiNxO(yx) з паверхні плёнкі SiNx, і чым больш атамаў O павялічваецца, тым цяжэй будзе атамам F для рэакцыя тручэння. Такім чынам, хуткасць тручэння пачынае запавольвацца, калі стаўленне O2/SF6 блізка да 1. (3) Калі стаўленне O2/SF6 больш за 1, хуткасць тручэння зніжаецца. З-за значнага павелічэння O2 дысацыяваныя атамы F сутыкаюцца з O2 і ўтвараюць OF, што зніжае канцэнтрацыю атамаў F, што прыводзіць да зніжэння хуткасці тручэння. З гэтага відаць, што пры даданні O2 суадносіны расходу O2/SF6 складае ад 0,2 да 0,8, і можна атрымаць найлепшую хуткасць тручэння.
Час публікацыі: 6 снежня 2021 г
