Электроннаяспецыяльныя газыз'яўляюцца важнай галіной спецыяльных газаў. Яны пранікаюць амаль ва ўсе звяны паўправадніковай вытворчасці і з'яўляюцца незаменнай сыравінай для вытворчасці электронных вырабаў, такіх як звышмаштабныя інтэгральныя схемы, плоскія дысплеі і сонечныя батарэі.

У паўправадніковых тэхналогіях фторзмяшчальныя газы шырока выкарыстоўваюцца. У цяперашні час на сусветным рынку электронных газаў фторзмяшчальныя электронныя газы складаюць каля 30% ад агульнай колькасці. Фторзмяшчальныя электронныя газы з'яўляюцца важным кампанентам спецыяльных электронных газаў у галіне электронных інфармацыйных матэрыялаў. Яны ў асноўным выкарыстоўваюцца ў якасці ачышчальных сродкаў і травільных агентаў, а таксама могуць выкарыстоўвацца ў якасці легіруючых дабавак, плёнкаўтваральных матэрыялаў і г.д. У гэтым артыкуле аўтар раскажа вам пра распаўсюджаныя фторзмяшчальныя газы.

Ніжэй прыведзены найбольш распаўсюджаныя фторзмяшчальныя газы

Трыфтарыд азоту (NF3): газ, які выкарыстоўваецца для ачысткі і выдалення адкладаў, звычайна выкарыстоўваецца для ачысткі рэакцыйных камер і паверхняў абсталявання.

Гексафтарыд серы (SF6)Фтарыруючы агент, які выкарыстоўваецца ў працэсах нанясення аксідаў і ў якасці ізаляцыйнага газу для запаўнення ізаляцыйных асяроддзяў.

Фтарыд вадароду (HF): выкарыстоўваецца для выдалення аксідаў з паверхні крэмнію і ў якасці травільнага агента для травлення крэмнію і іншых матэрыялаў.

Фтарыд азоту (NF): выкарыстоўваецца для травлення такіх матэрыялаў, як нітрыд крэмнію (SiN) і нітрыд алюмінію (AlN).

Трыфторметан (CHF3) ітэтрафторметан (CF4)Выкарыстоўваецца для траўлення фторзмяшчальных матэрыялаў, такіх як фторыд крэмнію і фторыд алюмінію.

Аднак фторзмяшчальныя газы маюць пэўныя небяспекі, у тым ліку таксічнасць, каразійнасць і ўзгаральнасць.

Таксічнасць

Некаторыя фторзмяшчальныя газы таксічныя, напрыклад, фторысты вадарод (HF), пары якога моцна раздражняюць скуру і дыхальныя шляхі і шкодныя для здароўя чалавека.

Каразійнасць

Фторвадарод і некаторыя фтарыды вельмі агрэсіўныя і могуць выклікаць сур'ёзныя пашкоджанні скуры, вачэй і дыхальных шляхоў.

Гаручасць

Некаторыя фтарыды лёгкаўзгаральныя і рэагуюць з кіслародам або вадой у паветры, вылучаючы моцную спякоту і таксічныя газы, якія могуць выклікаць пажар або выбух.

Небяспека высокага ціску

Некаторыя фторзмяшчальныя газы выбуханебяспечныя пад высокім ціскам і патрабуюць асаблівай асцярожнасці пры выкарыстанні і захоўванні.

Уплыў на навакольнае асяроддзе

Фторзмяшчальныя газы маюць высокі час жыцця ў атмасферы і значэнні GWP, што аказвае разбуральнае ўздзеянне на азонавы слой атмасферы і можа выклікаць глабальнае пацяпленне і забруджванне навакольнага асяроддзя.

Ужыванне газаў у новых галінах, такіх як электроніка, працягвае паглыбляцца, што прыводзіць да вялікага новага попыту на прамысловыя газы. Зыходзячы з вялікіх новых вытворчых магутнасцей па вытворчасці асноўных электронных кампанентаў, такіх як паўправаднікі і дысплейныя панэлі, у мацерыковым Кітаі ў бліжэйшыя некалькі гадоў, а таксама з высокага попыту на імпартазамяшчэнне электронных хімічных матэрыялаў, айчынная прамысловасць электронных газаў будзе мець высокія тэмпы росту.