ЭлектронныСпецыяльныя газыз'яўляюцца важнай галіной спецыяльных газаў. Яны пранікаюць практычна ў кожнай сувязі паўправадніковай вытворчасці і з'яўляюцца незаменнымі сыравінамі для вытворчасці электронных галін, такіх як ультра вялікія інтэграваныя схемы, плоскія прылады дысплея і сонечныя батарэі.

У тэхналогіі паўправаднікоў шырока выкарыстоўваюцца фтор, якія змяшчаюць фтор. У цяперашні час на сусветным рынку электроннага газу на электронныя газы, якія змяшчаюць фтор, складаюць каля 30% ад агульнай колькасці. Электронныя газы, якія змяшчаюць фтор, з'яўляюцца важным кампанентам спецыяльных электронных газаў у галіне электронных інфармацыйных матэрыялаў. У асноўным яны выкарыстоўваюцца ў якасці ачышчальных сродкаў і тручэння, а таксама могуць быць выкарыстаны ў якасці лесапанаў, матэрыялаў, якія ўтвараюць кіно і г.д.

Ніжэй прыведзены звычайна выкарыстоўваюцца фтор, якія змяшчаюць фтор

Трыфторид азоту (NF3): газ, які выкарыстоўваецца для ачысткі і выдалення радовішчаў, звычайна выкарыстоўваецца для ачысткі рэакцыйных камер і паверхняў абсталявання.

Серы гексафтор (SF6): Фторы, які выкарыстоўваецца ў працэсах адкладу аксіду і ў якасці ізаляцыйнага газу для запаўнення ізаляцыйных асяроддзяў.

Фтарыд вадароду (HF): выкарыстоўваецца для выдалення аксіду з паверхні крэмнію і ў якасці афарбоўкі для тручэння крэмнію і іншых матэрыялаў.

Фторыд азоту (NF): выкарыстоўваецца для тручак, такіх як нітрыд крэмнію (грэх) і алюмініевы нітрыд (ALN).

Трыфторметан (CHF3) ітэтрафтораметан (CF4): Выкарыстоўваецца для прарэзаных матэрыялаў фтору, такіх як фтарыд крэмнію і алюмініевы фтор.

Аднак, якія змяшчаюць фтор, газы маюць пэўную небяспеку, у тым ліку таксічнасць, агрэсіўнасць і гаручасць.

Таксічнасць

Некаторыя газы, якія змяшчаюць фтор, таксічныя, такія як фтарыд вадароду (HF), пара якога вельмі раздражняе скуру і дыхальныя шляхі і шкодныя для здароўя чалавека.

З'едлівасць

Фтарыд вадароду і некаторыя фтарыды вельмі агрэсіўныя і могуць нанесці сур'ёзныя пашкоджанні скуры, вачэй і дыхальных шляхоў.

Гаручасць

Некаторыя фторы гаручыя і ўступаюць у рэакцыю з кіслародам або вадой у паветры, каб вызваліць інтэнсіўныя цяпла і таксічныя газы, што можа выклікаць агонь ці выбух.

Небяспека высокага ціску

Некаторыя фтарыраваныя газы з'яўляюцца выбуховымі пад высокім ціскам і патрабуюць асаблівай дапамогі пры выкарыстанні і захоўванні.

Уплыў на навакольнае асяроддзе

Газы, якія змяшчаюць фтор, маюць высокі ўзровень атмасфернага тэрміну і значэнні GWP, якія аказваюць разбуральны ўплыў на атмасферны азонавы пласт і могуць выклікаць глабальнае пацяпленне і забруджванне навакольнага асяроддзя.

Прымяненне газаў у новых галінах, такіх як электроніка, працягвае паглыбляцца, прыносячы вялікую колькасць новага попыту на прамысловыя газы. Зыходзячы з вялікай колькасці новых вытворчых магутнасцей буйных электронных кампанентаў, такіх як паўправаднікі і дысплейныя панэлі ў мацерыковым Кітаі ў бліжэйшыя некалькі гадоў, а таксама высокі попыт на замену электронных хімічных матэрыялаў, айчынная электронная газавая прамысловасць прывядзе да высокага ўзроўню росту.