Электронныяспецыяльныя газыз’яўляюцца важнай галіной спецыяльных газаў. Яны пранікаюць амаль ва ўсе звёны вытворчасці паўправаднікоў і з'яўляюцца незаменнай сыравінай для вытворчасці электроннай прамысловасці, напрыклад, звышбуйных інтэгральных схем, плоскіх дысплеяў і сонечных батарэй.

У паўправадніковай тэхніцы шырока выкарыстоўваюцца фторзмяшчальныя газы. У цяперашні час на сусветным рынку электронных газаў фторзмяшчальныя электронныя газы складаюць каля 30% ад агульнай колькасці. Фторзмяшчальныя электронныя газы з'яўляюцца важным кампанентам спецыяльных электронных газаў у галіне электронных інфармацыйных матэрыялаў. Яны ў асноўным выкарыстоўваюцца ў якасці ачышчальных сродкаў і пратручвання, а таксама могуць быць выкарыстаны ў якасці дабавак, пленкообразующих матэрыялаў і г. д. У гэтым артыкуле аўтар раскажа вам пра агульныя фторзмяшчальныя газы.

Ніжэй прыведзены звычайна выкарыстоўваюцца фторзмяшчальныя газы

Трыфтарыд азоту (NF3): газ, які выкарыстоўваецца для ачысткі і выдалення адкладаў, звычайна выкарыстоўваецца для ачысткі рэакцыйных камер і паверхняў абсталявання.

Гексафтарыд серы (SF6): Фтарыруючы агент, які выкарыстоўваецца ў працэсах асаджэння аксідаў і ў якасці ізаляцыйнага газу для напаўнення ізаляцыйных асяроддзяў.

Фтарыд вадароду (HF): выкарыстоўваецца для выдалення аксідаў з паверхні крэмнію і ў якасці пратручвальніка для тручэння крэмнію і іншых матэрыялаў.

Фтарыд азоту (NF): выкарыстоўваецца для тручэння такіх матэрыялаў, як нітрыд крэмнія (SiN) і нітрыд алюмінія (AlN).

Трифторметан (CHF3) ітэтрафторметан (CF4): Выкарыстоўваецца для тручэння фтарыдных матэрыялаў, такіх як фтарыд крэмнію і фтарыд алюмінію.

Аднак фторзмяшчальныя газы маюць пэўную небяспеку, у тым ліку таксічнасць, каразійнасць і гаручасць.

Таксічнасць

Некаторыя фторзмяшчальныя газы таксічныя, напрыклад, фторысты вадарод (HF), пары якога моцна раздражняюць скуру і дыхальныя шляхі і шкодзяць здароўю чалавека.

Каразійнасць

Фтарыд вадароду і некаторыя фтарыды вельмі агрэсіўныя і могуць выклікаць сур'ёзныя пашкоджанні скуры, вачэй і дыхальных шляхоў.

Вогненебяспечнасць

Некаторыя фтарыды вогненебяспечныя і ўступаюць у рэакцыю з кіслародам або вадой у паветры з вылучэннем моцнага цяпла і таксічных газаў, якія могуць выклікаць пажар або выбух.

Небяспека высокага ціску

Некаторыя фтарыраваныя газы выбуханебяспечныя пад высокім ціскам і патрабуюць асаблівай асцярожнасці пры выкарыстанні і захоўванні.

Ўздзеянне на навакольнае асяроддзе

Фторзмяшчальныя газы маюць вялікі час жыцця ў атмасферы і значэнні GWP, якія разбуральна ўплываюць на азонавы слой атмасферы і могуць выклікаць глабальнае пацяпленне і забруджванне навакольнага асяроддзя.

Прымяненне газаў у новых галінах, такіх як электроніка, працягвае паглыбляцца, што стварае новы попыт на прамысловыя газы. Зыходзячы з вялікіх аб'ёмаў новых вытворчых магутнасцей асноўных электронных кампанентаў, такіх як паўправаднікі і дысплейныя панэлі, у мацерыковым Кітаі ў бліжэйшыя некалькі гадоў, а таксама высокага попыту на імпартазамяшчэнне электронных хімічных матэрыялаў, айчынная электронная газавая прамысловасць адкрые пачатак высокая хуткасць росту.