Тэхналогія сухога тручэння - адзін з ключавых працэсаў. Газ сухога тручэння з'яўляецца ключавым матэрыялам у паўправадніковым вырабе і важнай крыніцай газу для тручэння плазмы. Яго прадукцыйнасць непасрэдна ўплывае на якасць і прадукцыйнасць канчатковага прадукту. У гэтым артыкуле ў асноўным дзеліцца, якія звычайна выкарыстоўваюцца тручэннямі газы ў працэсе сухога тручэння.
Газы на аснове фтору: напрыклад, яквугляродны тэтрафтор (CF4). Гэтыя газы могуць эфектыўна генераваць лятучыя фторы пры тручэнні крэмніе і крэмніевых злучэннях, што дасягнуў выдалення матэрыялу.
Газы на аснове хлору: напрыклад, хлор (CL2),Boron Trichloride (BCL3)і тэтрахларыд крэмнію (SICL4). Газы на аснове хлору могуць забяспечваць іёны хларыду падчас працэсу тручэння, што дапамагае палепшыць хуткасць тручэння і селектыўнасць.
Газы на аснове брому: напрыклад, бром (BR2) і ёдыд бром (IBR). Газы на аснове бром могуць забяспечыць больш высокія прадукцыйнасці тручэння ў пэўных афортавых працэсах, асабліва пры ўрэзанні цвёрдых матэрыялаў, такіх як карбід крэмнію.
Газы на аснове азоту і кіслароду: напрыклад, трыфторид азоту (NF3) і кісларод (O2). Звычайна гэтыя газы выкарыстоўваюцца для рэгулявання ўмоў рэакцыі ў працэсе тручэння для павышэння селектыўнасці і накіраванасці тручэння.
Гэтыя газы дасягаюць дакладнага тручэння паверхні матэрыялу за кошт спалучэння фізічных распылення і хімічных рэакцый падчас тручэння плазмы. Выбар тручэння газу залежыць ад тыпу матэрыялу, які трэба ўрэзацца, патрабаваннямі селектыўнасці тручэння і жаданай хуткасцю тручэння.
Час паведамлення: люты-08-2025
