Сілан (SiH4)

Тэхнічныя параметры

Сілан - гэта злучэнне крэмнія і вадароду. Гэта агульны тэрмін для серыі злучэнняў, у тым ліку монасілан (SiH4), дысілан (Si2H6) і некаторыя крэмневадародныя злучэнні больш высокага ўзроўню. Сярод іх монасілан з'яўляецца найбольш распаўсюджаным, часам яго скарочана называюць сіланам. Сілан - бясколерны газ з агідным пахам часнаку. Раствараецца ў вадзе, амаль не раствараецца ў этаноле, эфіры, бензоле, хлараформе, хлараформе крэмнію і тетрахлориде крэмнія. Па хімічных уласцівасцях сіланы значна больш актыўныя, чым алканы, і лёгка акісляюцца. Пры кантакце з паветрам можа адбыцца самазагаранне. Ён не рэагуе з азотам пры тэмпературы ніжэй за 25 ° C і не рэагуе з вуглевадароднымі злучэннямі пры пакаёвай тэмпературы. Пажар і выбух сілану з'яўляюцца вынікам рэакцыі з кіслародам. Сілан надзвычай адчувальны да кіслароду і паветра. Сілан з пэўнай канцэнтрацыяй таксама будзе выбухова рэагаваць з кіслародам пры тэмпературы -180°C. Сілан стаў найважнейшым адмысловым газам, які выкарыстоўваецца ў працэсах паўправадніковай мікраэлектронікі, і выкарыстоўваецца для атрымання розных мікраэлектронных плёнак, у тым ліку монакрышталічных плёнак, мікракрышталічных, полікрышталічных, аксіду крэмнію, нітрыду крэмнію і сіліцыдаў металаў. Мікраэлектроннае прымяненне сілану ўсё яшчэ глыбока развіваецца: нізкатэмпературная эпітаксія, селектыўная эпітаксія і гетероэпитаксиальная эпітаксія. Не толькі для крамянёвых прылад і крэмніевых інтэгральных схем, але і для састаўных паўправадніковых прыбораў (арсенід галію, карбід крэмнію і інш.). Ён таксама знаходзіць прымяненне ў падрыхтоўцы матэрыялаў для звышрашотак квантавых ям. Можна сказаць, што сілан выкарыстоўваецца амаль ва ўсіх сучасных лініях вытворчасці інтэгральных схем. Прымяненне сілану ў якасці крэмнійзмяшчальнай плёнкі і пакрыцця пашырылася ад традыцыйнай мікраэлектроннай прамысловасці да розных галін, такіх як сталь, машынабудаванне, хімікаты і оптыка. Яшчэ адно патэнцыйнае прымяненне сілану - вытворчасць высокаэфектыўных керамічных дэталяў рухавіка, асабліва выкарыстанне сілану для вытворчасці мікрапарашкоў сіліцыдаў (Si3N4, SiC і г.д.) прыцягвае ўсё большую ўвагу.

Ужыванне:

①Электронны:

Сілан наносіцца на пласты полікрышталічнага крэмнію на крэмніевых пласцінах пры вытворчасці паўправаднікоў і герметыкаў.

②Сонечны:

Сілан выкарыстоўваецца ў вытворчасці сонечных фотаэлектрычных модуляў.

③Прамысловы:

Ён выкарыстоўваецца ў энергазберагальным зялёным шкле і ў працэсе нанясення тонкай плёнкі з паравой фазы.

Звычайны пакет:

Перавага:

①Больш за дзесяць гадоў на рынку;

②Вытворца сертыфіката ISO;

③Хуткая дастаўка;

④Стабільная крыніца сыравіны;

⑤Сістэма он-лайн аналізу для кантролю якасці на кожным этапе;

⑥Высокія патрабаванні і дбайны працэс апрацоўкі цыліндру перад напаўненнем;

⑦Purity: электронны клас высокай чысціні;

⑧Выкарыстанне: матэрыялы для сонечных батарэй; выраб полікрэмнія высокай чысціні, аксіду крэмнія і аптычнага валакна; вытворчасць каляровага шкла.