Гексафтарыд вальфраму (WF6) наносіцца на паверхню пласціны з дапамогай працэсу CVD, запаўняючы металічныя канаўкі і фарміруючы металічнае злучэнне паміж пластамі.
Давайце спачатку пагаворым пра плазму. Плазма — гэта форма матэрыі, якая ў асноўным складаецца з свабодных электронаў і зараджаных іонаў. Яна шырока распаўсюджана ў Сусвеце і часта разглядаецца як чацвёрты стан матэрыі. Яе называюць плазменным станам, які таксама называюць «плазмай». Плазма мае высокую электраправоднасць і моцны эфект сувязі з электрамагнітным полем. Гэта часткова іянізаваны газ, які складаецца з электронаў, іонаў, свабодных радыкалаў, нейтральных часціц і фатонаў. Сама плазма — гэта электрычна нейтральная сумесь, якая змяшчае фізічна і хімічна актыўныя часціцы.
Простае тлумачэнне заключаецца ў тым, што пад уздзеяннем высокай энергіі малекула пераадольвае сілу Ван-дэр-Ваальса, сілу хімічнай сувязі і сілу Кулона, і ў цэлым прадстаўляе сабой форму нейтральнай электрычнасці. У той жа час высокая энергія, якая перадаецца знешнім уздзеяннем, пераадольвае вышэйзгаданыя тры сілы. Функцыя: электроны і іоны знаходзяцца ў свабодным стане, які можна штучна выкарыстоўваць пры мадуляцыі магнітнага поля, напрыклад, у працэсах травлення паўправаднікоў, працэсах CVD, PVD і IMP.
Што такое высокая энергія? Тэарэтычна можна выкарыстоўваць як высокатэмпературныя, так і высокачастотныя радыёчастотныя выпраменьванні. У цэлым, высокай тэмпературы дасягнуць практычна немагчыма. Гэта патрабаванне да тэмпературы занадта высокае і можа быць блізкім да тэмпературы сонца. У працэсе гэтага практычна немагчыма дасягнуць. Таму ў прамысловасці звычайна выкарыстоўваецца высокачастотнае радыёчастотнае выпраменьванне. Плазменнае радыёчастотнае выпраменьванне можа дасягаць 13 МГц і больш.
Гексафтарыд вальфраму плазмізуецца пад дзеяннем электрычнага поля, а затым асядае з паравой фазы магнітным полем. Атамы W падобныя на зімовае гусінае пер'е і падаюць на зямлю пад дзеяннем гравітацыі. Павольна атамы W асядаюць у скразныя адтуліны і, нарэшце, запаўняюць іх, утвараючы металічныя злучэнні. Акрамя таго, што атамы W асядаюць у скразных адтулінах, ці будуць яны асядаць і на паверхні пласціны? Так, безумоўна. Увогуле, можна выкарыстоўваць працэс W-CMP, які мы называем механічным шліфаваннем, для выдалення. Гэта падобна на выкарыстанне веніка для падмятання падлогі пасля моцнага снегападу. Снег на зямлі змятаецца, але снег у адтуліне на зямлі застаецца. Уніз прыкладна тое ж самае.
Час публікацыі: 24 снежня 2021 г.
