Вальфрамавы гексафтор (WF6) адкладаецца на паверхню пласціны праз працэс ССЗ, запаўняючы металічныя траншэі ўзаемасувязі і ўтвараючы металічную ўзаемасувязь паміж пластамі.
Пагаворым спачатку пра плазму. Плазма - гэта форма матэрыі, якая ў асноўным складаецца з свабодных электронаў і зараджаных іёнаў. Ён існуе шырока ва Сусвеце і часта разглядаецца як чацвёрты стан матэрыі. Яго называюць плазменным станам, які яшчэ называюць "плазма". Плазма мае высокую электрычную праводнасць і аказвае моцны злучальны эфект з электрамагнітным полем. Гэта часткова іянізаваны газ, які складаецца з электронаў, іёнаў, свабодных радыкалаў, нейтральных часціц і фатонаў. Сама плазма - гэта электрычна нейтральная сумесь, якая змяшчае фізічна і хімічна актыўныя часціцы.
Прамае тлумачэнне заключаецца ў тым, што пад дзеяннем высокай энергіі малекула пераадолее сілу ван дэр Ваальса, сілу хімічнай сувязі і кулонсбу, а таксама прадставіць форму нейтральнай электраэнергіі ў цэлым. У той жа час высокая энергія, якая перадаецца звонку, пераадольвае тры сілы. Функцыя, электроны і іёны прадстаўляюць свабодны стан, які можа быць штучна выкарыстаны ў рамках мадуляцыі магнітнага поля, такіх як працэс паўправадніковага тручэння, працэс CVD, PVD і IMP.
Што такое высокая энергія? Тэарэтычна можна выкарыстоўваць як высокую тэмпературу, так і высокая частата РФ. Наогул кажучы, высокай тэмпературы амаль немагчыма дасягнуць. Патрабаванне да тэмпературы занадта высокая і можа быць блізка да тэмпературы Сонца. У асноўным гэта немагчыма дасягнуць у працэсе. Такім чынам, прамысловасць звычайна выкарыстоўвае высокачашчынныя РФ для яе дасягнення. Плазменная РФ можа дасягаць да 13 МГц+.
Вальфрамавы гексафторид плазмазуецца пад дзеяннем электрычнага поля, а затым парадаванае парам магнітнага поля. А атамы W падобныя на зімовыя гусіныя пёры і падаюць на зямлю пад дзеяннем цяжару. Атамы W павольна адкладаюцца ў адтуліны і, нарэшце, запоўнены праз адтуліны, утвараючы металічныя ўзаемасувязі. У дадатак да нанясення атамаў W у адтуліны, ці будуць яны таксама адкласці на паверхню пласціны? Так, безумоўна. Наогул кажучы, вы можаце выкарыстоўваць працэс W-CMP, які мы называем механічным працэсам шліфавання для выдалення. Ён падобны на выкарыстанне веніка, каб падмятаць падлогу пасля моцнага снегу. Снег на зямлі замятаецца, але снег у адтуліне на зямлі застанецца. Уніз, прыблізна тое ж самае.
Час паведамлення: снежань-24-2021
