Гексафтарыд вальфраму (WF6) наносіцца на паверхню пласціны з дапамогай працэсу CVD, запаўняючы металічныя злучальныя канаўкі і ўтвараючы металічныя злучэнні паміж пластамі.
Спачатку пагаворым аб плазме.Плазма - гэта форма матэрыі, якая ў асноўным складаецца са свабодных электронаў і зараджаных іёнаў.Ён шырока распаўсюджаны ва Сусвеце і часта разглядаецца як чацвёрты стан матэрыі.Гэта называецца плазменным станам, які таксама называюць "плазмай".Плазма мае высокую электраправоднасць і мае моцны эфект сувязі з электрамагнітным полем.Гэта часткова іянізаваны газ, які складаецца з электронаў, іёнаў, свабодных радыкалаў, нейтральных часціц і фатонаў.Сама плазма ўяўляе сабой электрычна нейтральную сумесь, якая змяшчае фізічна і хімічна актыўныя часціцы.
Простае тлумачэнне заключаецца ў тым, што пад уздзеяннем высокай энергіі малекула пераадольвае сілу Ван-дэр-Ваальса, сілу хімічнай сувязі і сілу Кулона і ўяўляе форму нейтральнай электрычнасці ў цэлым.У той жа час высокая энергія, якая перадаецца звонку, пераадольвае тры вышэйзгаданыя сілы.Функцыя, электроны і іёны знаходзяцца ў свабодным стане, які можа быць штучна выкарыстаны пры мадуляцыі магнітнага поля, напрыклад, у працэсе тручэння паўправаднікоў, працэсе CVD, PVD і IMP.
Што такое высокая энергія?Тэарэтычна можна выкарыстоўваць як высокую тэмпературу, так і высокачашчынную ВЧ.Наогул, высокай тэмпературы дасягнуць амаль немагчыма.Гэта патрабаванне да тэмпературы занадта высокае і можа быць блізка да тэмпературы сонца.Гэтага практычна немагчыма дасягнуць у працэсе.Такім чынам, прамысловасць звычайна выкарыстоўвае высокачашчынныя радыёчастоты для яе дасягнення.Плазменны ВЧ можа дасягаць 13 МГц+.
Гексафтарыд вальфраму плазмалізуецца пад дзеяннем электрычнага поля, а затым асаджваецца з пара пад дзеяннем магнітнага поля.Атамы W падобныя на пёры зімовых гусей і падаюць на зямлю пад дзеяннем сілы цяжару.Павольна атамы W адкладаюцца ў скразныя адтуліны і, нарэшце, запаўняюцца поўнымі скразнымі адтулінамі, утвараючы металічныя ўзаемасувязі.У дадатак да адкладання атамаў W у скразных адтулінах, ці будуць яны таксама адкладацца на паверхні пласціны?Так, безумоўна.Наогул кажучы, для выдалення можна выкарыстоўваць працэс W-CMP, які мы называем працэсам механічнага драбнення.Гэта падобна на выкарыстанне веніка для падмятання падлогі пасля моцнага снегу.Снег на зямлі змяце, але снег у яме на зямлі застанецца.Уніз, прыкладна тое ж самае.
Час публікацыі: 24 снежня 2021 г
